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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5311020(U)	申请公布日期	1978.01.30
申请号	JP19760091682U	申请日期	1976.07.12
申请人		发明人
分类号	G01R19/165;G01R19/00;H01L31/04;H01L33/00;H01M10/48	主分类号	G01R19/165
代理机构		代理人
主权项
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