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发明名称
METHOD OF PREVENTING IMAGE OF HEATED SEMICONDUCTOR PELLET FROM FLICKERING OF HEAT HAZE
摘要
申请公布号
JPS5310268(A)
申请公布日期
1978.01.30
申请号
JP19760084395
申请日期
1976.07.15
申请人
CHO ONPA KOGYO CO
发明人
NAKAMURA SHIGERU
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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