| 发明名称 |
HEATING AND COOLING STRUCTURES TO TURN TABLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08103672(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940268228 |
申请日期 |
1994.10.06 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
TAKAHASHI HIROYUKI;HAYAMA HISAO |
| 分类号 |
B01L7/00;B01L7/04;(IPC1-7):B01L7/00;B01L11/02 |
主分类号 |
B01L7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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