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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS539488(A)
申请公布日期
1978.01.27
申请号
JP19760083476
申请日期
1976.07.15
申请人
HITACHI LTD
发明人
SHIMIZU SHINJI
分类号
H01L27/092;H01L21/8238;H01L29/78
主分类号
H01L27/092
代理机构
代理人
主权项
地址
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