| 发明名称 |
DEVICE FOR DETECTING POSITION OF ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS539475(A) |
申请公布日期 |
1978.01.27 |
| 申请号 |
JP19770075640 |
申请日期 |
1977.06.27 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
DONARUDO II DEEBISU;MIRAADO EI HABETSUGAA;HANON ESU YOOKU |
| 分类号 |
H01L21/027;G01D5/39;H01L21/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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