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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS539487(A) 申请公布日期 1978.01.27
申请号 JP19760083471 申请日期 1976.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 UCHIDA HIDEAKI;FUKUSHIMA KENJI
分类号 H01L21/76;H01L27/04 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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