发明名称 WERKZEUGAUSWECHSELSYSTEM FÜR HYBRID-CHIPVERBINDER
摘要
申请公布号 AT139407(T) 申请公布日期 1996.06.15
申请号 AT19910301769T 申请日期 1991.03.04
申请人 F & K DELVOTEC BONDTECHNIK GMBH 发明人 SCHWEITZER, KARL;ZEINDL, GERHARD
分类号 B23Q3/155;H01L21/00;H01L21/52;H01L21/677;(IPC1-7):H05K13/00 主分类号 B23Q3/155
代理机构 代理人
主权项
地址