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发明名称 MIS SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS539482(A) 申请公布日期 1978.01.27
申请号 JP19760083470 申请日期 1976.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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