发明名称 METHOD OF PILING UP EPITAXIAL SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS538563(A) 申请公布日期 1978.01.26
申请号 JP19770080045 申请日期 1977.07.06
申请人 PHILIPS NV 发明人 ERIE ANDORE
分类号 C30B15/18;C30B19/08;C30B19/10;H01L21/208 主分类号 C30B15/18
代理机构 代理人
主权项
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