| 发明名称 |
AUTOMATIC POSITIONING APPARATUS OF ARTICLES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS538061(A) |
申请公布日期 |
1978.01.25 |
| 申请号 |
JP19760082170 |
申请日期 |
1976.07.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
INOUE TAKESHI;NAGAO MASAHIRO;NODA MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/68;G05D3/00;G05D3/12;H01L21/58 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
