发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS538057(A) 申请公布日期 1978.01.25
申请号 JP19760082196 申请日期 1976.07.09
申请人 SANYO ELECTRIC CO 发明人 DOI ATSUMASA
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/70;H01L29/78 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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