HEAT TREATMENT APPARATUS,申请号JP19760081973-传众专利搜索

发明名称	HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号	JPS538056(A)	申请公布日期	1978.01.25
申请号	JP19760081973	申请日期	1976.07.12
申请人	HITACHI LTD	发明人	SUGIMOTO KINYA
分类号	H05B3/00;F27D11/02;H01L21/22;H05B1/00	主分类号	H05B3/00
代理机构		代理人
主权项
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