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发明名称 ETCHANT FOR DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPS537549(A) 申请公布日期 1978.01.24
申请号 JP19760082143 申请日期 1976.07.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGATA KAZUSHI;SUEHIRO KAZUTO;SHIBATA HIROSHI;YASUOKA AKIHIKO
分类号 C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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