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<p>Eine Targetanordnung mit kreisförmiger Platte (19) weist entlang ihrem umlaufenden Rahmen (21) symmetrisch zu einer Ebene (E), senkrecht zu ihrer Zentrumsachse mindestens eine Ein- und/oder Ausformung (23, 43) auf, wobei beide Plattenseiten durch Sputtermaterial gebildet sind. Damit kann die Platte gewendet werden, und beide Seiten können abgesputtert werden.</p> |
