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发明名称 PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPS537199(A) 申请公布日期 1978.01.23
申请号 JP19760081720 申请日期 1976.07.09
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 TANBA MORITAKE;SAKAMOTO YUUICHI
分类号 H01J3/04;H01J27/00;H05H1/24;H05H1/46;H05H7/08 主分类号 H01J3/04
代理机构 代理人
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