| 发明名称 |
SPATTERING PROCESS AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS536282(A) |
申请公布日期 |
1978.01.20 |
| 申请号 |
JP19770080352 |
申请日期 |
1977.07.05 |
| 申请人 |
PHILIPS NV |
发明人 |
YAN BISERU;KORUNERISU BIREMU BERUGUUTO |
| 分类号 |
C23C14/34;B01J19/08;C23C14/35;C23C14/36;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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