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发明名称 LIQUID PHASE GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS536281(A) 申请公布日期 1978.01.20
申请号 JP19760079955 申请日期 1976.07.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 KURODA IKUROU;AIKI KUNIO;NAKAMURA MICHIHARU
分类号 C30B19/02;C01B25/08;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B19/02
代理机构 代理人
主权项
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