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发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS535981(A) 申请公布日期 1978.01.19
申请号 JP19760080562 申请日期 1976.07.06
申请人 TOYODA CHUO KENKYUSHO KK;ISHIZUKA GLASS 发明人 IGARASHI ISEMI;TSUKADA ATSUSHI;MATSUI MASAYUKI;HAYAKAWA HIROO;KONDOU MIKIO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L21/52;H01L23/12;H01L29/84;H01L45/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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