发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MIS TRANSISTORS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS534480(A) |
申请公布日期 |
1978.01.17 |
申请号 |
JP19760078606 |
申请日期 |
1976.07.02 |
申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
HOSOYA TETSUO;MUROTA JIYUNICHI;MURAMOTO SUSUMU;HIRAI MINORU |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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