发明名称 GAS PHASE GROWTH METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS534779(A) 申请公布日期 1978.01.17
申请号 JP19760078865 申请日期 1976.07.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YONENO SHIYUNJI
分类号 C30B25/12;C01B25/08;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
地址