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发明名称
摘要
申请公布号 JPS531184(B1) 申请公布日期 1978.01.17
申请号 JP19740127295 申请日期 1974.11.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L23/08;H01L23/36;(IPC1-7):H01L23/08 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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