| 发明名称 |
CRYSTAL GROWTH METHOD WITH MOLECULAR BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS534778(A) |
申请公布日期 |
1978.01.17 |
| 申请号 |
JP19760079225 |
申请日期 |
1976.07.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
INOUE MORIO;UKAGAKI TAMOTSU |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/24;H01L21/20;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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