发明名称 PROCEDE POUR REALISER L'AJUSTEMENT DE MASQUES D'EXPOSITION PAR RAPPORT A UNE PASTILLE DE SUBSTRAT
摘要
申请公布号 BE858958(A1) 申请公布日期 1978.01.16
申请号 BE19770181125 申请日期 1977.09.22
申请人 SIEMENS A.G. 发明人
分类号 G03B27/32;G03F9/00;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
主权项
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