| 发明名称 |
PLASMA TREATING SYSTEM AND METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11251304(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980344736 |
申请日期 |
1998.12.03 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
SAWADA KOJI;YAMAZAKI KEIICHI;INOUE YOSHIMI;OKAZAKI SACHIKO;KOKOMA MASUHIRO |
| 分类号 |
H05H1/24;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/513;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05H1/52;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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