发明名称 LENTILLE MAGNETIQUE COMPORTANT UNE GRANDE DISTANCE FOCALE DECOUPLEE VIS-A-VIS DE L'EXCITATION
摘要 <P>L'invention concerne une lentille magnétique de grande distance focale. </P><P>Cette lentille 15 est constituée par une bobine formée d'enroulements excitables séparément 16, 21 disposés à l'intérieur d'une enveloppe enfer 13 et qui s'étendent au moins partiellement sur des sections axiales différentes de la bobine. </P><P>Application notamment aux appareils réducteurs électro-optiques formant l'image d'un masque sur une pastille de semi-conducteur.</P>
申请公布号 FR2355374(A1) 申请公布日期 1978.01.13
申请号 FR19770012711 申请日期 1977.04.27
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 H01J37/141;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/14;H01L21/00 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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