| 发明名称 |
ANORDNING FOR ATT DETEKTERA INRETTNINGSMARKERINGAR PA T EX EN HALVLEDARSKIVA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SE7707933(L) |
申请公布日期 |
1978.01.13 |
| 申请号 |
SE19770007933 |
申请日期 |
1977.07.07 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
DAVIS D E;HABEGGER M A;YOURKE H S |
| 分类号 |
H01L21/027;G01D5/39;H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):G01D5/39 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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