发明名称 HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2430097(B2) 申请公布日期 1978.01.12
申请号 DE19742430097 申请日期 1974.06.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/00;H01L21/331;H01L23/485;H01L29/417;H01L29/73;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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