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发明名称
HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号
DE2430097(B2)
申请公布日期
1978.01.12
申请号
DE19742430097
申请日期
1974.06.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L21/00;H01L21/331;H01L23/485;H01L29/417;H01L29/73;(IPC1-7):H01L23/48
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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