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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG VON MONOKRISTALLINEM SILICIUMCARBID
摘要
申请公布号 DE2727557(A1) 申请公布日期 1978.01.12
申请号 DE19772727557 申请日期 1977.06.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 LOUIS DEINES,JOHN;KU,SAN-MEI;ROBERT POPONIAK,MICHAEL;JA-MIN TSANG,PAUL
分类号 C30B25/02;C30B29/36;H01L21/04;H01L21/205;H01L21/762;H01L29/267;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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