发明名称 SELFFARRAYING METHOD OF PRODUCING IC
摘要
申请公布号 JPS532091(A) 申请公布日期 1978.01.10
申请号 JP19770069509 申请日期 1977.06.14
申请人 MOTOROLA INC 发明人 MERIRU ROU HANTO;KURISUTOFUAA ANGUROSU REIDASU;SOORU TOOMASU MASUTOROIANNI
分类号 H01L21/70;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/761;H01L21/8222 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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