发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS532071(A) |
申请公布日期 |
1978.01.10 |
申请号 |
JP19760076071 |
申请日期 |
1976.06.29 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KAWAMURA TOYOSAKU;KASHIMADA HIDEO;YOSHIDA MASAMICHI |
分类号 |
H01L21/322;H01L21/265;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/322 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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