| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE ENERGY ANALYZER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS531593(A) |
申请公布日期 |
1978.01.09 |
| 申请号 |
JP19760075559 |
申请日期 |
1976.06.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ISHIKAWA KIYOSHI;ITOU TOSHIYASU;USAMI KATSUHISA |
| 分类号 |
G01N23/227;G01N23/225;G05B7/02;H01J49/44;H01J49/48 |
主分类号 |
G01N23/227 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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