发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS531471(A) 申请公布日期 1978.01.09
申请号 JP19760075553 申请日期 1976.06.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORI RIYOUICHI;KUBO SEIJI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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