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发明名称
摘要
申请公布号
JPS53758(U)
申请公布日期
1978.01.06
申请号
JP19760082381U
申请日期
1976.06.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/677;B24C3/22;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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