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发明名称
摘要
申请公布号
JPS53273(B2)
申请公布日期
1978.01.06
申请号
JP19750139823
申请日期
1975.11.20
申请人
发明人
分类号
H05K5/00;G01R31/26;H01L21/56;H01L21/66;H01L23/02;H01L23/50
主分类号
H05K5/00
代理机构
代理人
主权项
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