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发明名称
METALIC ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPS53397(A)
申请公布日期
1978.01.05
申请号
JP19760075131
申请日期
1976.06.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TSUKAMOTO KATSUHIRO;HORIE KAZUO
分类号
H01J3/04;H01J27/00;H01J27/08;H01J27/10;H05H7/08
主分类号
H01J3/04
代理机构
代理人
主权项
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