发明名称 REAKTIONSGEFAESS ZUM ABSCHEIDEN VON HALBLEITERMATERIAL AUF ERHITZTE TRAEGERKOERPER
摘要
申请公布号 DE2363254(B2) 申请公布日期 1978.01.05
申请号 DE19732363254 申请日期 1973.12.19
申请人 发明人
分类号 B01J3/00;C01B33/035;C23C16/22;C23C16/44;(IPC1-7):B01J17/32 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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