| 发明名称 |
ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIEANORDNUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2727733(A1) |
申请公布日期 |
1978.01.05 |
| 申请号 |
DE19772727733 |
申请日期 |
1977.06.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
BARRY HERITAGE,MARCUS |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/30;H01J37/304;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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