| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE DEPOT DE COUCHES REGULIERES SUR DES SUBSTRATS SURFACIQUES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2353649(A1) |
申请公布日期 |
1977.12.30 |
| 申请号 |
FR19770016889 |
申请日期 |
1977.06.02 |
| 申请人 |
LEYBOLD HERAEUS GMBH ET CO KG |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/50;(IPC1-7):C23C13/00;C23C13/08 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
