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发明名称 ANORDNUNG UND FOTOMETER ZUR DICKENMESSUNG UND -STEUERUNG OPTISCH WIRKSAMER DUENNSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE2627753(A1) 申请公布日期 1977.12.29
申请号 DE19762627753 申请日期 1976.06.21
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH & CO KG 发明人 SCHWIECKER,HORST,DIPL.-PHYS.DR.;THORN,GERNOT,DIPL.-ING.;EHRL,HANS-PETER,ING.
分类号 C23C14/54;G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):G01B11/06;C23C13/08;G01J1/42;G05D3/02 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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