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发明名称 VERFAHREN ZUM ZUECHTEN GENETISCHER HALBLEITEROXIDSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE2726265(A1) 申请公布日期 1977.12.29
申请号 DE19772726265 申请日期 1977.06.10
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 HENG CHANG,ROBERT PANG;KUMAR SINHA,ASHOK
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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