| 发明名称 |
PRODUCTION OF MIS SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52156576(A) |
申请公布日期 |
1977.12.27 |
| 申请号 |
JP19760073174 |
申请日期 |
1976.06.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YASUI TOKUMASA;FUKUDA MINORU;SHIRASU TATSUMI |
| 分类号 |
H01L21/033;H01L21/266;H01L21/336;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/033 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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