基座轴的真空泵吸

摘要

在此所提供的是一种提高在将材料膜沉积到衬底的过程中所使用的基座的支撑板的平面度的方法，包括下列步骤：将轴的中空芯中的压力减小到低于大气压的水平；以及将沉积室中的压力减小到将材料膜沉积到衬底上所要求的水平，其中在轴的中空芯中的压力作用于支撑板的下表面上，该下表面被连接到轴且与轴的中空芯相对接，沉积室中的压力作用于支撑板的适于支撑衬底的上表面上，由此来提高平面度。还提供了基座和将膜沉积到被固定至本发明的基座上的衬底上的方法。

主权项

1.一种提高在将材料膜沉积到衬底的过程中所使用的基座的支撑板的平面度的方法，包括下列步骤：将轴的中空芯中的压力减小到低于大气压的水平；以及将沉积室中的压力减小到将材料膜沉积到所述衬底上所要求的水平，其中在所述轴的中空芯中的压力作用于所述支撑板的下表面上，所述下表面被连接到所述轴且与所述轴的中空芯相对接，所述沉积室中的压力作用于所述支撑板的适于支撑所述衬底的上表面上，由此来提高平面度。