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发明名称
DEVICE FOR HIGH PRESSURE OXIDATION DIFFUSION FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPS52155059(A)
申请公布日期
1977.12.23
申请号
JP19760092282
申请日期
1976.08.04
申请人
TEL THERMCO KK
发明人
SATOU RIYOUZOU
分类号
H01L21/31;H01L21/22
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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