发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52155055(A) |
申请公布日期 |
1977.12.23 |
申请号 |
JP19760072370 |
申请日期 |
1976.06.18 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HATADA KENZOU;KAJIWARA KOUSEI |
分类号 |
H01L21/60;H01L21/28;H01L21/288 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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