| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52155064(A) |
申请公布日期 |
1977.12.23 |
| 申请号 |
JP19770008200 |
申请日期 |
1977.01.27 |
| 申请人 |
FUNKUBUERUKU ERUFURUTO K VEB |
发明人 |
RUDORUFU ZATSUHIYAA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3115;H01L21/3213;H01L21/3215 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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