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发明名称
VERFAHREN ZUM SPRUEHNIEDERSCHLAGEN VON MATERIAL VON EINEM TARGET ZUR BILDUNG EINES LEGIERTEN NIEDERSCHLAGES AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号
DE1817014(B2)
申请公布日期
1977.12.22
申请号
DE19681817014
申请日期
1968.12.24
申请人
发明人
分类号
C23C14/02;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/42;F16C33/04;F16C33/10;H01J37/34
主分类号
C23C14/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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