发明名称 ASSEMBLING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52154352(A) 申请公布日期 1977.12.22
申请号 JP19760071097 申请日期 1976.06.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWANOBE TOORU;OKAMURA SHIMUYA
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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