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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5249956(B2) 申请公布日期 1977.12.21
申请号 JP19720102125 申请日期 1972.10.11
申请人 发明人
分类号 C30B31/02;H01L21/22;H01L33/30 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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