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发明名称 CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION OF FILMS
摘要
申请公布号 GB1495924(A) 申请公布日期 1977.12.21
申请号 GB19760035295 申请日期 1976.08.25
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 H01L27/112;C23C16/22;C23C16/34;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):C23C11/00;H01L29/78 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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