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发明名称
摘要
申请公布号
JPS52168563(U)
申请公布日期
1977.12.21
申请号
JP19760076761U
申请日期
1976.06.11
申请人
发明人
分类号
F23Q3/00;H01L41/04;H01L41/113;H02N2/00;H03H9/10;(IPC1-7):H03H9/10
主分类号
F23Q3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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